製品案内

Siウェハ厚み測定器:製品画像

光計測器・制御器

Siウェハ厚み測定器

SIT-200

  • 薄膜からシリコン基板まで、厚みを高感度でリアルタイム測定
  • 干渉計測のために高純度の波長可変光源を高速掃引
  • 波長掃引方式のため、高感度測定が可能
高感度高精度高速 20msリモート制御

アプリケーション

  • 基板厚み計測
  • ウェットエッチング中のリアルタイム計測

動作原理

Siウェハ厚み測定器:動作原理

仕様

Siウェハ厚み測定器:仕様

カスタマイズ

  • 測定対象物、測定サイズ・形状によってカスタマイズ可能です。詳しくはお問合わせください。

オーダリングインフォメーション

Siウェハ厚み測定器:オーダリングインフォメーション

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